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電感式輪廓儀

一種將觸針位移轉(zhuǎn)換為電感信號(hào)的表面粗糙度測(cè)量?jī)x。當(dāng)電感式傳感器的觸針沿被測(cè)表面均速滑行時(shí)，觸針的上下位移帶動(dòng)了磁芯運(yùn)動(dòng)，從而改變電橋兩臂電感線圈的電感量，輸出與觸針位移成比例的電信號(hào)，經(jīng)放大和運(yùn)算等處理，即可獲得表面粗糙度參數(shù)值和輪廓的記錄圖形。這類儀器精度高，可測(cè)量高度參數(shù)Rₐ，Rz和Ry，間距參數(shù)Sm，S以及支承系數(shù)tp等十幾個(gè)參數(shù)，測(cè)量范圍：Rₐ值10～0.02μm，Rz和Ry值50～0.2μm，示值誤差不大于10％或7％。